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문제 정의
- 그러나 QMS는 고가임에도 매우 민감한 계측장치이기 때문에 사용방법과 주변 환경에 따라 심한 경우 20 ~ 30 %까지도 오차가 생길 수 있다. 이를 보안하기 위해 본 연구에서 효율적이고 정확하게 기체조성을 분석하고 기체의 부분압을 측정할 수 있는 방법을 모색하였다. QMS parameter의 튜닝값은 진공챔버, 공정환경에 따라 달라질 수 있으므로 분석하려는 진공영역에서 각 기체에 대해 QMS parameter의 튜닝값을 최적화시키고 측정할 기체의 감도를 구했다.
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