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제안 방법
- 저진공에 적용이 가능하여 선행연구 결과, 60 μm/min의 식각률을 보여 기존의 진공 플라즈마에 비해 아주 높은 식각률을 달성을 하였다. 본 연구에서는 태양전지 효율 향상을 위해 실리콘 표면을 피라미드 형태의 구조로 만들기 위한 Texturing 공정을 대기압에 적용하여 수행하였고, 사용한 가스는 SF6, O2, Ar 이다. 피라미드 형성과정의 특성을 알아보기 위해, 대기압에서 공정시간을 10, 20, 30초로 하여 각각의 실리콘 표면의 Texturing 과정을 관찰하였다.
- 본 연구에서는 태양전지 효율 향상을 위해 실리콘 표면을 피라미드 형태의 구조로 만들기 위한 Texturing 공정을 대기압에 적용하여 수행하였고, 사용한 가스는 SF6, O2, Ar 이다. 피라미드 형성과정의 특성을 알아보기 위해, 대기압에서 공정시간을 10, 20, 30초로 하여 각각의 실리콘 표면의 Texturing 과정을 관찰하였다. 작동 시간을 변수로 하여 공정 형태를 관찰하여 최적의 공정을 찾아내었고, 피라미드 모양의 구조를 갖는 실리콘 웨이퍼 표면을 얻을 수 있었으며, 피라미드 높이는 1μm 이상이었다.
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