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제안 방법
- p>마그네트론 스퍼터링을 이용하여 다양한 조성의 티타늄 화합물을 합성하고, 조성 변화에 따른 색상 변화를 통해 티타늄 화합물로 구현할 수 있는 색상에 대해서 알아보았다. 스퍼터 타겟은 4“X1/4" 크기의 고순도(99.
- 시편은 알코올과 아세톤에서 각각 5분간 초음파 세척된 SUS304를 사용하여, 진공용기에 시편을 장착하고 압력을 3×10-6Torr까지 배기한 후, Ar 가스를 주입하여 진공도가 2×10-2Torr에 이르면 펄스 전원 공급 장치를 이용하여 800V의 전압으로 1시간 동안 글로우 방전을 시켜 시편 청정을 하였다.
- 티타늄 화합물의 두께와 미세구조, 조성 그리고 색상은 투과전자현미경(transmission electron microscope, TEM), 글로우 방전 분광기(glow discharge light spectroscope, GDLS), 및 색차계(spectrophotometer)를 사용하여 각각 분석하였다.
대상 데이터
- 스퍼터 타겟은 4“X1/4" 크기의 고순도(99.99%) 티타늄을 사용하였다.
- 시편 청정이 끝나면 다시 3×10-6Torr까지 진공배기를 실시하고, Ar 가스를 진공용기 내로 공급하여 1 ∼ 3×10-3Torr에서 스퍼터링을 실시하여 코팅하였다. 티타늄 화합물은 티타늄을 스퍼터링 하면서 진공용기 내에 질소와 메탄가스를 적절한 비율로 공급함으로써 제조하였다. 박막 증착시 시편 온도는 200℃, 타겟과의 거리는 12 cm를 유지 하였으며, 시편을 자전하여 1시간 코팅하였다.
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