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제안 방법
- SAW device를 이용하여 온도를 측정하기 위하여 펄스 변조방식으로 구현 되었고, 송신 신호의 펄스폭은 300 ns, 송신 출력은 30 dBm으로 하였다.
- 온도가 증가할수록 압전기판의 속도가 감소하는 것을 측정된 신호 주기의 시간변화로 할 수 있었다. 또한 각각의 SAW 센서마다 고유 정보를 입력하여 무선측정 환경에서 SAW 센서를 식별할 수 있도록 제작 하였다.
- 본 연구에서는 온도에 민감한 YZ-LiNbO3 압전기판을 이용하여 SAW(Surface Acoustic Wave) 온도 센서를 제작하였다.
- 수신 시스템은 싱글 헤테로다인 방식으로 IF 주파수 70 MHz, 50 cm의 거리에서 무선으로 측정하였다.
- 온도 조절은 핫플레이트를 이용하여 20, 100, 200, 300, 400 °C의 온도에서 각각 측정하였다.
- 온도에 따라 표면파의 속도가 변하는 압전 기판의 특성과 펄스 변조 방식을 이용한 무선 측정을 고려하여 SAW를 이용한 온도 센서를 설계, 제작하였으며 무선으로 온도를 측정하기 위한 실험을 수행하였다.
- 온도에 민감한 YZ-LiNbO3 압전기판에 900 MHz 대역의 SAW 센서를 제작하여 펄스변조 방식으로 신호를 인가해 주고, 헤테로다인 방식으로 반사되어 나오는 신호를 관측하여 온도에 따른 압전 기판의 속도변화를 측정하였다. 송신 신호의 펄스폭은 300 ns이고 전력은 30 dBm, 무선거리는 50 cm에서 관측하였다.
대상 데이터
- SAW device의 제작은 압전기판인 YZ-LiNbO3 위에 알루미늄 3000 Å을 sputtering 후 photo-lithography 를 이용하여 패턴을 형성하였고, 형성된 패턴을 식각 마스크로 알루미늄을 습식 식각 하여 제작하였으며, 그림 1은 제작된 SAW device의 사진이다.
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