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MLA(Micro Lens Array) 제작을 위한 광학 시뮬레이션
The beam property simulation for the fabrication of a MLA(Micro Lens Array) 원문보기

대한전기학회 2009년도 제40회 하계학술대회, 2009 July 14, 2009년, pp.1497 - 1498  

오해관 (아주대학교 전자공학과) ,  서현우 (오에프티(주)) ,  김근영 (아주대학교 전자공학과) ,  위창현 (오에프티(주)) ,  송요탁 (오에프티(주)) ,  이기근 (아주대학교 전자공학과) ,  양상식 (아주대학교 전자공학과)

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

This paper presents the simulation of micro-lens arrays based on dry and wet etching technique. Code V (Optical Research Associates Ltd) simulation was performed to extract optimal design parameters of a Micro-Lens Array(MLA). Thickness of UV adhesive, wavelength of laser source, curvature, and shap...

AI 본문요약
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문제 정의

  • 본 논문에서는 고해상도 광학계에 사용되는 MLA의 성능 최적화 및 기반구축을 위해 구면과 비구면 렌즈의 광학 시뮬레이션 연구를 통한 마이크로렌즈의 제작 및 특성 측정을 수행하였다.
  • 본 논문에서는 열적 안정성이 뛰어난 석영 기판을 습식과 건식 식각하여 구면, 비구면 렌즈 제작을 위한 시뮬레이션을 수행 하였으며, 측정을 위한 광학 측정 시스템을 개발하였다. UV adhesive 두께와 인가되는 광원의 파장, 곡면의 형태에 따른 예상되는 초점거리의 변화를 광학 시뮬레이션 툴인 Code V를 이용하여 예측하였다.
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