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문제 정의
- ELS(Extended Life Ion Source) Source Head에 있는 Cathode가 열전자 방출로 인하여 두께가 얇아짐으로써 열전자의 방출이 일정하지 못하는 단점을 가지고 있다. 따라서 본 연구는 이온주입(Ion Implanter)장비의 성능향상 및 재현성 있는 Source Head를 개발하는 것이다. 현재의 Source Head의 문제점은 Filament의 자체적인 Life time은 960hr인 반면에 Cathode의 현재 Life time은 480hr에 불과하다.
- 또한 현재의 Cathode에 의하여 열전자가 Arc Chamber에 방출이 되면서 자연스럽게 원자에 열이 가해지면서 중성의 원자로부터 +극성을 띄게 하는데, 이러한 열전자의 지속적인 방출이 이루어지지 못하고 있어 많은 량의 소모품을 중도에 교체하여 설비 유지 보수비를 가중시키고 있다. 본 개발은 이러한 문제점을 보완하여 보다 높은 효율과 설비 유지력을 보유하기 위한 개발이다.
- 본 연구는 이온주입(Ion Implanter)장비의 성능향상 및 재현성 있는 Source Head를 개발하기 위한 논문이다. Cathode의 면적을 확장함으로써 열전자의 영향성으로부터 보다 높은 Life time을 유지 할 수 있도록 열전자 방출의 면적을 현재의 Size에서 확장하고 두께는 현재의 값을 유지하도록 하였으며, Filament로부터 발생하는 열전자의 원활한 방출을 유지할 수 있도록 하였다.
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