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Glass firt 첨가에 따른 저온 동시소성 기판용 Mg-Si-O계 세라믹스의 소결거동 및 마이크로파 유전특성
Sintering Behavior and Microwave Dielectric Propel1ies of Mg-Si-O Ceramics with Glass Frit for LTCC Substrate 원문보기

한국전기전자재료학회 2007년도 하계학술대회 논문집 Vol.8, 2007 June 21, 2007년, pp.310 - 310  

조정환 (고려대학교 신소재공학부) ,  여동훈 (요업기술원 융복합기술본부 시스템모듈팀) ,  신효순 (요업기술원 융복합기술본부 시스템모듈팀) ,  김종희 (요업기술원 융복합기술본부 시스템모듈팀) ,  남산 (고려대학교 신소재공학부)

초록
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Mg-Si-O계 세라믹스에 glass frit 조성을 첨가하여 저온에서의 소결 특성 및 마이크로파 유전 특성을 연구하였다. 기존의 Mg-Si-O계 세라믹스는 우수한 유전특성을 가지고 있으나 높은 소결온도로 인하여 LTCC용 기판 소재로 적용이 어려웠다. 본 연구에서는 MgO, $SiO_2$를 이용하여 $Mg_2SiO_4$을 합성한 후, $B_2O_3-ZnO-Na_2O-SiO_2-Al_2O_3$계 glass 조성을 20~40wt%로 첨가하여 소결온도를 감소시켜 LTCC 기판 소재로서의 적용성을 고찰하였다. glass frit 함량이 증가함에 따라 밀도($g/cm^3$) 및 유전율(${\varepsilon}_r$)은 증가하였고 품질계수($Qxf_0$)값은 감소하였다. glass frit 함량이 40wt%일때 $900^{\circ}C$에서 1시간 소결한 소결체의 유전톡성은 유전율 (${\varepsilon}_4$) = 6.5. 품질계수 ($Qxf_0$) = 4,000(GHz), 온도계수 $(\tau_t)\;=\;{\pm}\;10ppm/^{\circ}C$로 우수한 특성을 확인하였다.

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