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제안 방법
- 실험은 플라즈마화학기상증착방식을 이용하여 진행되었다. 4종류의 박막특성, 즉 굴절률과 수명시간 (Lifetime)에 관한 모델을 개발하여, 그 성능을 0.04-0.09 (구간 I)와 0.1-1.0 (구간 II)으로 나누어 비교평가하였다.
대상 데이터
- 0사이에서 변화를 시키며 최적화시켰으며, 이 보다 더 작은 범위에서의 모델 성능을 보고된 바가 없으며, 뽄 연구에서 이兽 고찰한다. 이를 위해 통계적 실험 계획법을 적용하여 수집한 실리콘 나이트라이드 (Silicon nitride) 박막증착데이터를 이용한다. 실험은 플라즈마화학기상증착방식을 이용하여 진행되었다.
- 모델의 입력변수에는 기판온도, 압력, radio frequency 파워, NH3, &瓦, N?등이 포함되었다. 학습과 테스트 데이터는 총 35개와 12개로 구성되었다. 굴절률의 최소 예측에러는 구간 I와 II에서 각 각 0.
이론/모형
- Face-centered Box Wilson 실험계획법을 적용하여 데이터롤 수집하였다. 모델의 입력변수에는 기판온도, 압력, radio frequency 파워, NH3, &瓦, N?등이 포함되었다.
- 이를 위해 통계적 실험 계획법을 적용하여 수집한 실리콘 나이트라이드 (Silicon nitride) 박막증착데이터를 이용한다. 실험은 플라즈마화학기상증착방식을 이용하여 진행되었다. 4종류의 박막특성, 즉 굴절률과 수명시간 (Lifetime)에 관한 모델을 개발하여, 그 성능을 0.
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