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NTIS 바로가기한국전기전자재료학회 2000년도 영호남학술대회 논문집, 2000 May 13, 2000년, pp.25 - 28
전병현 (경남대학교 전기전자공학부) , 양규열 (경남대학교 전기전자공학부) , 김성진 (경남대학교 전기전자공학부)
A capacitance-type humidity sensors in which porous silicon layer is used as humidity-sensing material was developed. This sensors was fabricated monolithically to be compatible with the typical IC process technology except for the formation of porous silicon layer. As the sensors is made as a mesa ...
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