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NTIS 바로가기한국전기전자재료학회 2003년도 춘계학술대회 논문집 유기절연재료 방전 플라즈마연구회, 2003 May 30, 2003년, pp.89 - 91
이영환 (원광대학교 전기 전자 및 정보 공학부) , 허인성 (원광대학교 전기 전자 및 정보 공학부) , 조주웅 (원광대학교 전기 전자 및 정보 공학부) , 김광수 (원광대학교 전기 전자 및 정보 공학부) , 이종찬 (원광대학교 전기 전자 및 정보 공학부) , 최용성 (원광대학교 전기 전자 및 정보 공학부) , 박대희 (원광대학교 전기 전자 및 정보 공학부)
In this paper, using a Langmuir probe Ar gas characteristic of electrodeless fluorescent lamp which used an inductively coupled plasma were investigated. The RF output changed into 5-50W in 13.56MHz. At this time internal plasma voltage of the chamber and probe current were measured while changing i...
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