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[국내논문] Chemical Bath Deposition 방법으로 CdSe 박막 성장과 광센서 특성
Photosensor of properties for CdSe thin film grown by Chemical Bath Deposition Method 원문보기

한국전기전자재료학회 2004년도 춘계학술대회 논문집 반도체 재료 센서 박막재료 전자세라믹스, 2004 Apr. 24, 2004년, pp.1 - 4  

홍광준 (조선대학교 물리학과)

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

Polycrystalline CdSe thin films were grown on ceramic substrate using a chemical bath deposition(CBD)method. They were annealed at various temperature and X-ray diffraction patterns were measured by X-ray diffractometer in order to study CdSe polycrystal structure. Using extrapolation method of X-ra...

AI 본문요약
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제안 방법

  • 본 연구에서는 CBD 방법으로 CdSe 광전도 셀을 제작하여 SEM 사진 및 X-선 회절기로 낱알 크기 및 결정구조를 확인하고, Van der Pauw 방법으로 Hall 효과를 측정하여 운반자 농도, 이동도 및 비저항을 측정하였다. 또한 광전도 셀로서의 응용성을 알아보고자 스펙트럼 응답을 측정하고, 10 lx와 100 lx 사이의 감도 (sensitivity :丫), 최대허용소비전력 (maximum allowable power dissipation:MAPD), 광전류 (photocurrent:pc) 와 암전류 (darkcurrent:dc) 의 비 pc/dc값, 응답시간을 측정하였다.
  • 측정하였다. 또한 광전도 셀로서의 응용성을 알아보고자 스펙트럼 응답을 측정하고, 10 lx와 100 lx 사이의 감도 (sensitivity :丫), 최대허용소비전력 (maximum allowable power dissipation:MAPD), 광전류 (photocurrent:pc) 와 암전류 (darkcurrent:dc) 의 비 pc/dc값, 응답시간을 측정하였다.
  • 이렇게 성장한 박막을 재결정화하기 위하여 질소 분위기에서 350'C에서 50°C 간격으로 650笆까지 1 시간 동안 열처리한 후 인듐으로 전극을 증착하고 그 위에 카본 접착풀로 전극을 부착하여 광전도 셀을 제작하였다.
  • 스펙트럼 응답을 측정하기 위해 광전도 셀에 D.C. 전원을 연결하여 단색광을 셀에 조사하면서 나오는 광전류를 록-인 앰프(PAR, 5208)로 증폭하고 X-Y 기록겨)(MFE, 815M)로 기록하였다. 이때 할로겐 램프(650W)에서 나오는 빛을 광 단속기(PAR, 192)를 거쳐 단색화장치 (Jarrell Ash, 82-020, 0.
  • 광전도 셀의 감도는 조도에 따른 셀의 저항 변화로써 텅스턴 램프를 광원으로 하여 조도를 0 次에서 1000 lx까지 변화시켜 셀의 저항변화를 멀티미터 (Philips, PM2528)로 측정하였다. 이때 0 lx의 저항값은 10 lx의 빛을 제거하고 10초 후에 측정한 값으로 정의 하였다.
  • 이때 0 lx의 저항값은 10 lx의 빛을 제거하고 10초 후에 측정한 값으로 정의 하였다. pc/dc 비를 구하기 위해 광전류와 암전류는 각각 3000 lx와 0 lx일 때 1.5V의 인가전압을 가하여 흐르는 전류를 측정하였다.
  • 이때 조도는 조도계(HS, Hs-LA)로 즉정하고 전류는 멀티미터(Philips, PM2528)로 측정하였다. 응답시간을 측정하기 위하여 광원인 텅스텐 램프에서 나오는 빛을 단속기를 거쳐 셀에 조사하였고 흐르는 광전류를 오실로스코프(GS, 7040A)에 연결하여 시간에 따라 변하는 광전도도의 변화를 측정하였다.

이론/모형

  • CBD 방법으로 성장하여 질소 분위기에서 450°C로 열처리한 CdSe 다결정 박막의 Hal] 효과를 Van der PAuw 방법으로 293K에서 33K까지 변화시키면서 측정한 값들을 표 1에 보이고 이동도 卩값을 그림 3에 나타내었다. 그림 3에서 볼때 이동도 卩는 293K에서 200K까지는 극성광학산란에 기인하고 있으며, 200K에서 33K까지는 압전산란에 의존하고 있음을 알수 있다.
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