[논문]ITO Sol의 농도에 따른 특성평가

강호민; 신상현; 김경우; 박기운; 강동헌; 김영호

[국내논문] ITO Sol의 농도에 따른 특성평가
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강호민 ((주)하주테크) , 신상현 ((주)하주테크) , 김경우 (수원대학교 전자재료공학과) , 박기운 ((주)하주테크) , 강동헌 (수원대학교 전자재료공학과) , 김영호 (수원대학교 전자재료공학과)

ITO (Indium Tin Oxide) powder was synthesized by precipitation method. ITO colloidal solutions for coating on glass were fabricated by ball milling method. ITO colloidal solution with variation of concentration from 2% to 15% were fabricated ITO thin film measured sheet resistance and transmittance. In the result, 15% sol showed the lowest value of sheet resistance, 2% sol showed the highest value of transmittance. In addition, effect of annealing temperature and $SiO_2$ film were investigated.

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문제 정의

본 연구에서는 이러한 방법 중 스퍼터링법이나 CVD 법은 장비가 고가이고 대면적의 코팅에 부적합하므로 제조비용이 저렴하며, 사용이 간단한 공정으로 코팅 할 수 있는 spin coating을 사용하여 ITO sol 의 농도에 따른 특성을 고찰하고자 하였다

제안 방법

99%, 고순도 화학)을 사용하였으며, 용매호는 HN03 을 사용하였다. 침전제로는 1M NH₄₀H수를 사용하여 PH:8에서 수화물로 공침 시키고 여두를 사용해 filtering 하고, UP수로 C「둥 불순물을 제거하기 위해 6회에 걸쳐 세정하였다. Sn이 도핑 된 In수산화물을 drying oyen에서 건조시켰다.
Sn이 도핑 된 In수산화물을 drying oyen에서 건조시켰다. 건조된 수화물을 70CTC에서 3hr에 걸쳐 열처리 (N₂ 분위기)하여 In 과 Sn 의 비율이 9:1인 In2O₃-SnO₂₂] ITO powder를 합성하였다. 합성된 ITO powder를 에탄올에 잘 분산시켜 ITO sol을 생산하였다.
건조된 수화물을 70CTC에서 3hr에 걸쳐 열처리 (N₂ 분위기)하여 In 과 Sn 의 비율이 9:1인 In2O₃-SnO₂₂] ITO powder를 합성하였다. 합성된 ITO powder를 에탄올에 잘 분산시켜 ITO sol을 생산하였다.
ITO 막은 glass substrate(2x2cm)위에 코팅 용액(2%, 5%, 10%, 15%)을 이용하여 spin coating 법으로 제조하였으며, SiO₂막은 ITO막 제조 후 그 위에 코팅하여 SiOa/ITO 이층막을 형성 시켰다. Glass substrate는 박막제조에 앞서 DI-Water, Acetone, IPA(Iso-Propyle Alcohol) 에 각각 5분씩 Utra-Sonic 으로 세척하였다.
Coating된 glass는 상온, 50, 150, 200, 250P 에서 각각 1시간씩 열처리하고, SiO₂의 영향을 알아보기 위해 5%, 10%로 coating 된 galss 위에 SiOz를 coating 하고 250°C에서 1시간 동안 열처리하였다.
ITO 단일막의 광투과율 측정에는 Shimadzu사의 UV-160 Spectrophotometer (Model:UV-3101pc) 를사용하여 300nQ-800nm 까지 가시광선 영역에서의투과율을 측정하였다. 면저항의 측정은 4-point probe (model:CMTT000)를 사용하였다.
ITO 농도에 따른 박막의 면저항 변화를 알아보기 위하여 ITO s이의 농도를 변화 시켰다.

대상 데이터

출발원료로는 In metal(99.995%) 과 염화주석 (SnC₁₄.5H₂₀, 99.99%, 고순도 화학)을 사용하였으며, 용매호는 HN03 을 사용하였다. 침전제로는 1M NH₄₀H수를 사용하여 PH:8에서 수화물로 공침 시키고 여두를 사용해 filtering 하고, UP수로 C「둥 불순물을 제거하기 위해 6회에 걸쳐 세정하였다.

이론/모형

측정하였다. 면저항의 측정은 4-point probe (model:CMTT000)를 사용하였다.

성능/효과

있다. 따라서 이러한 전도성 원리를 가지는 ITO의 충진율이 좋아지면서 전기적 성질이 우수해진다는 것을 알 수 있었다.

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