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NTIS 바로가기한국전기전자재료학회 2005년도 춘계학술대회 논문집, 2005 May 27, 2005년, pp.110 - 113
임중관 (동신대학교) , 박용필 (동신대학교) , 장경욱 (경원전문대) , 이희갑 (대한상공회의소)
Ozone is useful oxidizing gas for the fabrication of BSCCO thin films. In order to obtain high quality oxide BSCCO thin films, higher ozone concentration is necessary. The growth rates of the films was set in the region from 0.17 to 0.27 nm/min. MgO(100) was used as a substrate. In this paper oxidat...
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