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문제 정의
- 특히 전자 재료 분야는 우리나라가 미국, 일본 등 일부 선진국에 대한 기술 종속의 연결고리를 이루고 있는 한 부분으로서, 향후 기술 선진국으코의 진입을 위해서는 무엇보다도 많은 투자와 연구 개발이 필요한 분야라 할 수 있다. 따라서 본 연구는 이종층 구조를 갖는 강유전체 후막의 제작 및 계면특성에 대해 연구하고자 한다. 이러한 이종층 구조의 후막은 기존의 단일 조성 세라믹 후막에서는 얻을 수 없었던 계면을 형성함으로서 신기능 소자로의 응용이 가능하며, 특히 절연내압 특성을 크게 향상시킨 전력용 절연체 재료로, 누설전류특성을 크게 향상시킨 반도체 기억소자의 유전체 재료로, 그리고 유전상수 및 자발분극 특성을 크게 향상시킨 세라믹 커패시터 및 압전 변환 소자로의 응용이 기대된다.
- 따라서 이종층 구조의 강유전체 박막은 전자재료 세라믹 박막에 있어 핵심 요소기술이라 할 수 있으며, 또한 첨단 산소재 개발 및 산업화에 따른 반도체 및 각종 전자 부품에 있어 국내외 기술 선점화를 이룸으로써 산업, 경제적으로 파급효과가 매우 큰 기반기술이라 할 수 있다. 서로 다른 결정구조 리고 서로 다른 전기적 특성을 가진 두 가지 종류의 막을 상호 반복하여 적층시킨 이종층 구조(hcterolaycrcd structure)의 시편을 제작하고자 하며, 계면에서 발생되는 다양한 구조적, 전기적 현상에 대해 측정, 분석하고, 이를 응용하기 위한 기초연구를 하고자 한다.
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