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NTIS 바로가기전력전자학회 2008년도 추계학술대회 논문집, 2008 Oct. 31, 2008년, pp.25 - 28
김민영 (인천대학교) , 서광덕 ((주)이엔테크놀로지) , 한희민 ((주)이엔테크놀로지) , 최병준 (인천대학교) , 김준석 (인천대학교)
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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부스트형 전원장치는 무엇인가? | 본연구는 부스트형 대기압 플라즈마 전원장치에 대한 연구로서 부스트형 전원장치는 플라즈마의 발생을 원활하게 하기위해 커패시터로 모델링되는 부하단에 인가되는 전압을 직접 제어하는 방식을 의미한다. 기존의 정현파 공진형 전원장치는 PWM기법을 이용하여 펄스의 폭을 증감하는 방식으로 전압의 크기를 제어하지만 이 방식은 별도의 공진회로를 이용하여 공진을 일으킨 다음 이를 부하에 인가하는 방식으로 구성되기 때문에 속응성이 떨어지고 균일한 플라즈마를 발생시키기 어렵다. | |
공진형 전원장치에서 근본적으로 속응성이 떨어지고 균일한 플라즈마를 발생시키기 어려운 이유는? | 공진형 전원장치는 PWM기법을 이용하여 펄스의 폭을 증감하는 방식으로 전압의 크기를 제어 하고 있으나, 출력 주파수가 고정되어 자유로운 전력 제어가 어렵고, 자체 LC공진으로 인한 대용량의 무효분 전력이 발생되어 전력용 소자의 용량이 매우 커지는 문제가 발생한다. 특히 부하의 변동에 대한 안정성을 확보하기 위하여 부하의 커패시턴스 보다 큰 C를 LC공진에 사용하기 때문에 근본적으로 속응성이 떨어지고 균일한 플라즈마를 발생시키기 어렵다.[3] | |
기존의 정현파 공진형 전원장치는 무엇인가? | 본연구는 부스트형 대기압 플라즈마 전원장치에 대한 연구로서 부스트형 전원장치는 플라즈마의 발생을 원활하게 하기위해 커패시터로 모델링되는 부하단에 인가되는 전압을 직접 제어하는 방식을 의미한다. 기존의 정현파 공진형 전원장치는 PWM기법을 이용하여 펄스의 폭을 증감하는 방식으로 전압의 크기를 제어하지만 이 방식은 별도의 공진회로를 이용하여 공진을 일으킨 다음 이를 부하에 인가하는 방식으로 구성되기 때문에 속응성이 떨어지고 균일한 플라즈마를 발생시키기 어렵다. 부스트형 전원장치는 별도의 부스트 컨버터로 직류전압을 제어하여 부하단에 입력되는 전압을 직접 제어하므로 매우 균일한 플라즈마를 발생시킬 수 있는 이점이 있으나 별도의 부스트용 스위치가 필요하고 이로 인한 효율의 감소 및 사이즈의 증가가 되는 문제점이 생긴다. |
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