선택한 단어 수는 입니다.
최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
선택한 단어 수는 30입니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
문제 정의
- 이러한 초정밀 구동장치는 히스테리시스와 같은 비선형적 성질이 더 강하게 나타나 정확한 모델링을 필요로 하였다. 그리하여 본 논문에서는 피에조 액추에이터의 특성을 제거하기 위하여 PID제어를 선택하였다.
- 이러한 문제점을 해결하기 위해 본 논문에서는 5nm의 분해능의 초정밀 구동장치에 사용하는 액추에이터로 모델링을 수행하였고, 컨트롤러를 제작하였다. 이러한 초정밀 구동장치는 히스테리시스와 같은 비선형적 성질이 더 강하게 나타나 정확한 모델링을 필요로 하였다.
- 이를 해결하기 위해 본 논문에서는 선택한 피에조 액추에이터를 모델링하고, 적정한 상수 값을 구하여 실제 제품의 특성과 동일함을 확인하였다. 그리고 나노급 분해능을 갖는 정밀 위치소자를 활용하기 위하여 일반적인 PID 제어방법을 선택하였다.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.