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[국내논문] 마이크로부품 및 금형 제조를 위한 Fe계 합금전주도금에 관한 연구
Study on the Electroforming of Fe alloy using UV-LIGA 원문보기

한국표면공학회 2011년도 춘계학술대회 및 Fine pattern PCB 표면 처리 기술 워크샵, 2011 May 19, 2011년, pp.49 - 49  

손성호 (한국생산기술연구원 열.표면기술센터) ,  박성철 (한국생산기술연구원 열.표면기술센터) ,  이홍기 (한국생산기술연구원 열.표면기술센터) ,  김현종 (한국생산기술연구원 열.표면기술센터) ,  이호년 (한국생산기술연구원 열.표면기술센터) ,  이민형 (한국생산기술연구원 열.표면기술센터) ,  이원식 (한국생산기술연구원 융합신공정연구그룹)

초록
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본 연구에서는 Fe계 합금전주도금 미세부품 및 금형 제조에 사용되는 전주용 Fe계 합금도금 기술을 개발을 위해 Fe-Ni 및 Fe-Ni-W 합금 전기도금에 대한 속도론적 고찰을 통해 Fe-Ni 합금도금층 내의 Fe과 Ni, Fe-Ni-W 합금 도금층 내의 Fe, Ni, W 성분 함유량에 대한 각각의 공정 제어인자를 규명하였다. Fe-Ni합금과 Fe-Ni-W합금도금층 구현에 있어 합금도금액의 합성, 최적 전류밀도 범위 도출, 합금도금층의 표면거칠기 및 경도 확보를 위한 공정조건 확립 등을 수행하였고, 전주(electroforming)를 이용하여 마이크로 기어 및 금형을 제조하였다.

AI 본문요약
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문제 정의

  • 현재 미세부품을 제작하는데 있어 마이크로 부품 크기와 뛰어난 표면조도 구현이 가능한 전주법이 가장 우수한 제조방법으로 떠오르고 있다. 본 연구에서는 Fe계 합금전주도금 미세부품 및 금형 제조에 사용되는 전주용 Fe계 합금 도금 기술을 개발하고자 하였다. 도금액의 교반속도, 전압, 전해온도 등의 전해조건에 따른 도금속도를 측정하고 이에 대한 분석을 통해 Fe계 합금도금에 대한 반응 기구를 규명하였다.
  • Fe-Ni과 Fe-Ni-W 합금도금에서 Fe, Ni 및 W의 각 성분의 물질전달 및 전기화학반응의 반응율속단계를 규명하고자 하였다. 온도변화에 따른 Fe-Ni과 Fe-Ni-W합금도금액 내 Fe, Ni, W 성분의 함유량 감소 추이와 온도변화 및 시간별 얻어진 Fe, Ni 및 W 성분비 변화량으로부터 속도상수를 구하였으며, 속도상수와 온도의 역수의 관계를 나타낸 Arrhenius plot으로부터 Fe-Ni과 Fe-Ni-W 합금 전기도금에 있어서의 각 성분의 전기도금 반응율속단계를 규명하였다.
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