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NTIS 바로가기한국태양에너지학회 2011년도 추계학술발표대회 논문집, 2011 Nov. 24, 2011년, pp.154 - 157
박제준 (충남대학교 대학원 전자.전파.정보통신공학과) , 김진국 (충북대학교 대학원 반도체공학과) , 이희덕 (충남대학교 대학원 전자.전파.정보통신공학과) , 강기환 (한국에너지기술연구원) , 유권종 (한국에너지기술연구원) , 송희은 (한국에너지기술연구원)
Hydrogenated silicon nitride deposited by LF-PECVD is commonly used for anti-reflection coating and passivation in silicon solar cell fabrication. The deposition of the optimized silicon nitride on the surface is elemental in crystalline silicon solar cell. In this work, the carrier lifetimes were m...
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