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NTIS 바로가기한국진공학회 2012년도 제43회 하계 정기 학술대회 초록집, 2012 Aug. 20, 2012년, pp.395 - 395
Kim, Se-Jun (한양대학교 화학과) , Han, Gyu-Seok (한양대학교 화학과) , Seong, Myeong-Mo (한양대학교 화학과)
We fabricate organic-inorganic hybrid thin film for the purpose of encapsulation by molecular layer deposition (MLD) using Trimethylaluminium (TMA) and Adipoyl Chloride (AC). Ellipsometry was employed to verify self limiting reaction of ALD. Linear relationship between number of cycle and thickness ...
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