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Fluorine doped ZnO의 전기적, 광학적 및 열적 특성
Electrical, optical and thermal properties of Fluorine doped ZnO 원문보기

한국신재생에너지학회 2010년도 춘계학술대회 초록집, 2010 June 17, 2010년, pp.67.2 - 67.2  

이승훈 (한국과학기술연구원) ,  탁성주 (한국과학기술연구원) ,  최수영 (한국과학기술연구원) ,  천승주 (한국과학기술연구원) ,  강병준 (한국과학기술연구원) ,  김원목 (한국과학기술연구원) ,  김동환 (고려대학교)

초록
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F doped ZnO (FZO)박막은 rf magnetron sputtering을 이용하여 ZnO 박막에 F의 도핑량 변화에 따른 효과와 전기적, 광학적 및 열적 특성에 대하여 고찰하였다. 열처리 전의 박막에서는 $CF_4$ gas가 0.1%일 때 가장 좋은 전기적 특성을 보였고, 이는 대부분의 F이 O와 치환을 하여 전기적 특성이 우수해지는 것으로 보인다. 그러나 일반적으로 열처리 전 FZO 박막은 낮은 전기적 특성을 가지며, 열처리 후에는 전기적 특성이 많이 향상되었고, 특히 홀 이동도가 $42.6cm^2/Vs$의 높은 값을 가졌다. 또한 F 함량이 증가할수록 광학적 특성은 좋아졌지만, 구조적 특성은 열처리 전 후를 비교할 때 큰 변화가 없었다. 이 연구를 통해서 $40cm^2/Vs$이상의 높은 홀 이동도를 가지고, 열적으로 안정한 ZnO계 박막의 제조가 가능하였다.

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