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[해외논문] A diaphragm based piezoelectric AlN film quality test structure

Microelectronic Test Structures (ICMTS), 2012 IEEE International Conference on, 2012 Mar, 2012년, pp.50 - 54  

Jackson, N. (Tyndall Nat. Inst., Univ. Coll. Cork, Cork, Ireland) ,  O'Keeffe, R. (Tyndall Nat. Inst., Univ. Coll. Cork, Cork, Ireland) ,  O'Leary, R. (Tyndall Nat. Inst., Univ. Coll. Cork, Cork, Ireland) ,  O'Neill, M. (Analog Devices Inc., Limerick, Ireland) ,  Waldron, F. (Tyndall Nat. Inst., Univ. Coll. Cork, Cork, Ireland) ,  Mathewson, A. (Tyndall Nat. Inst., Univ. Coll. Cork, Cork, Ireland)

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

Aluminum nitride (AlN) is becoming a commonly used piezoelectric material for various applications due to its compatibility with CMOS processing. However, the piezoelectric properties of AlN are highly dependent on the deposition process and the underlying layers, and typically require several test ...

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