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NTIS 바로가기한국진공학회 2013년도 제44회 동계 정기학술대회 초록집, 2013 Feb. 18, 2013년, pp.139 - 139
Lee, Keunho (PSM Inc.) , Choi, Chulchae (PSM Inc.) , Han, Yonggyu (PSM Inc.) , Song, Seok-Kyun (Cheorwon Plasma Research Institute)
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