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NTIS 바로가기Vacuum Electronics Conference (IVEC), 2013 IEEE 14th International, 2013 May, 2013년, pp.1 - 2
Wolverton-Spencer, Lindsey (Semicon Assoc., Lexington, KY, USA) , Effgen, Michael (Semicon Assoc., Lexington, KY, USA)
This paper will discuss the novel approach for applying multi-layered relational databases which permits the use of both purchased and customized reporting software for data collection and real-time process monitoring. The purpose for applying this approach is to establish best sustainable practices...
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