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NTIS 바로가기한국전기전자재료학회 2007년도 추계학술대회 논문집, 2007 Nov. 01, 2007년, pp.365 - 366
박장식 (월드비젼) , 이원건 (대원에프엔씨) , 정민기 (대원에프엔씨) , 박이순 (경북대학교 공과대학 고분자공학과) , 안창규 (월드비젼)
High quality cathode with high deposition rate of thin films and long target life time is required for manufacturing TFT-LCD and semiconductor. We developed WV(wide view) sputtering cathode with wide erosion area and high deposition rate. Ti thin film thickness variation in WV cathode is below 5% fo...
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