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NTIS 바로가기한국전기전자재료학회 2007년도 추계학술대회 논문집, 2007 Nov. 01, 2007년, pp.179 - 180
박상준 (삼성전자(주) 반도체 총괄) , 윤주병 (삼성전자(주) 반도체 총괄) , 이경우 (삼성전자(주) 반도체 총괄) , 이상익 (삼성전자(주) 반도체 총괄) , 김진성 (삼성전자(주) 반도체 총괄) , 채승기 (삼성전자(주) 반도체 총괄) , 채희선 (삼성전자(주) 반도체 총괄) , 노용한 (성균관 대학교)
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