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NTIS 바로가기한국전기전자재료학회 2002년도 춘계학술대회 논문집 센서 박막재료 반도체재료 기술교육, 2002 May 17, 2002년, pp.62 - 65
유진수 (한국에너지기술연구원 태양광발전연구팀) , 이정철 (한국에너지기술연구원 태양광발전연구팀) , 강기환 (한국에너지기술연구원 태양광발전연구팀) , 김석기 (한국에너지기술연구원 태양광발전연구팀) , 윤경훈 (한국에너지기술연구원 태양광발전연구팀) , 송진수 (한국에너지기술연구원 태양광발전연구팀) , 박이준 (한국에너지기술연구원 태양광발전연구팀)
Transparent conducting aluminum-doped Zinc oxide films (ZnO:Al) were prepared by rf magnetron sputtering on glass (Coming 1737) substrate as a variation of the deposition condition. After deposition, the smooth ZnO:Al films were etched in diluted HCl (0.5%) to examine the electrical and surface morp...
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