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주사 전자 현미경의 보정작업을 위한 메타 휴리스틱 알고리즘
Meta Heuristic for Calibration of Scanning Electron Microscope 원문보기

한국콘텐츠학회 2011년도 춘계 종합학술대회 논문집, 2011 May 20, 2011년, pp.535 - 536  

이상욱 (목원대학교)

초록
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주사전자현미경은 시편의 표면형상을 수 nm의 정밀도로 관찰할 수 있는 측정 장비로, 과학 기술 및 산업 분야에서 널리 사용되고 있다. 이러한 주사현미경은 30여종 이상의 변수조합에 의해 운영되며, 정상적인 영상을 관찰하기 위해서는 변수를 최적화하는 보정작업을 필요로 한다. 본 논문에서는 이러한 보정작업을 용이하게 하기 위한 메타 휴리스틱 기법을 소개한다.

AI 본문요약
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문제 정의

  • 본 문제는 연속적인 공간 (continuous domain) 문제이므로, PSO[4]나 DE[5]가 적합하다. 그러나 조합최적화 문제에 적합한 유전 알고리즘[3]은 연속적인 공간 문제에 또한 강력하므로 3가지 방법에 대해 모두 구현하여 가장 좋은 성능을 내는 기법을 선택하려 한다.
  • 이를 위해 전문지식을 가진 기술자 또는 상당한 경험이 있는 기술자가 현장에서 기술 지원을 수행해야 한다. 본 논문에서는 이러한 보정 작업을 비전문가도 쉽게 할 수 있는 보정 시스템 구현을 위한 보정 알고리즘을 제안한다.
  • 본 논문에서는 주사 전자 현미경의 보정 작업을 비전문가도 빠른 시간 내에 쉽게 할 수 있도록 하는 보정 알고리즘을 개발을 위한 방법을 제시하였다. 보정을 위한 작업은 30개 이상의 변수를 연속공간속에서 이루어져야 한다.
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