$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

박막트랜지스터 소자 응용을 위한 비정질 ITZO 박막의 전기적 및 광학적 특성 분석
Electrical and optical properties of amorphous ITZO thin films examined for thin film transistor application 원문보기

한국표면공학회 2014년도 추계학술대회 논문집, 2014 Nov. 20, 2014년, pp.252 - 253  

조광민 (경북대학교 신소재공학부) ,  김세윤 (경북대학교 신소재공학부) ,  이준형 (경북대학교 신소재공학부) ,  김정주 (경북대학교 신소재공학부) ,  허영우 (경북대학교 신소재공학부)

초록
AI-Helper 아이콘AI-Helper

비정질 ITZO 박막은 ITZO(In:Sn:Zn= 8:1:1, 6:2:2, 4:3:3, 2:4:4) 타겟을 이용하여 상온에서 RF 마그네트론 스퍼터링 법으로 제조 되었다. ITZO 박막의 물성을 알아보기 위하여 조성별, 산소 분압별 및 열처리에 따른 박막의 구조적, 전기적, 광학적 특성을 분석하였다. 박막 실험 결과를 바탕으로 ITZO(4:3:3) 박막을 채널 층으로 이용하여 성공적으로 박막 트랜지스터를 제작 하였다.

AI 본문요약
AI-Helper 아이콘 AI-Helper

* AI 자동 식별 결과로 적합하지 않은 문장이 있을 수 있으니, 이용에 유의하시기 바랍니다.

문제 정의

  • 산화물 박막 트랜지스터는 이동도가 수에서 수십cm2/V·s로써 기존 비정질 실리콘에 비해 매우 높아 고주파수 고해상도 디스플레이 제작에 적합하며, 넓은 밴드갭을 가지고 가시광선 영역에서 투명하여 차세대 투명디스플레이에 유용하게 사용할 수 있다. 본 연구에서는 투명 디스플레이 및 플렉시블 디스플레이 등의 적용될 수 있는 산화물 박막 트랜지스터의 중요 구성요소 중 하나인 채널용 투명 산화물 박막 소재뿐만 아니라, ITO, IZO와 같은 투명 전도막 응용을 위한 In-Sn-Zn-O(ITZO)의 물성을 조사 하였다.
본문요약 정보가 도움이 되었나요?

관련 콘텐츠

이 논문과 함께 이용한 콘텐츠

저작권 관리 안내
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로