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동적 나노압침법과 유한요소 해석에 의한 전주된 Invar-Cu 복합 박막층의 기계적 특성 평가
Evaluation of the Mechanical Properties of Electroformed Multi-nano Layers by the Dynamic-Nano Indentation Method 원문보기

한국표면공학회 2016년도 추계학술대회 논문집, 2016 Nov. 17, 2016년, pp.201.1 - 201.1  

강보경 (단국대학교 신소재공학과) ,  한상선 (단국대학교 신소재공학과) ,  최용 (단국대학교 신소재공학과)

초록
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전주된 Invar (Fe-35%Ni) 박판 위에 증착된 Cu 박막은 스퍼터 전력량이 증가할수록 증착속도가 증가하였다. Cu/Invar 박판이 Invar 박판보다 면저항 값이 34%로 작았다. Invar 박판 위에 Cu가 증착되면 최대자화와 투자율은 각각 40.3, 65.0 [%] 감소하였다. Cu 박막의 탄성하강강성도, 마찰계수, 피로한계는 각각 45, 0.130, 0.093 이었다. 동적 나노 압침법으로 얻은 Invaar/Cu 박막의 하중-시간-변위 곡선의 가장 큰 차이는 탄성하강강성도(elastic stiffness) 이었다. 미세경도와 나노경도의 실험적 관계식은 $Y[GPa]=9.18{\times}10^{-3}X[Hv]$ 이었다. 나노압침선단의 하중분포를 이차원 선형 및 비선형 유한요소해석을 통하여 1.0 [mN] 의 정적하중을 가한 Cu 박막은 486 [mN] 으로 예측되었다. 이는 표면탐침현미경으로 관찰한 압흔의 변형정도와 유사한 경향을 보였다.

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