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NTIS 바로가기한국표면공학회 2016년도 추계학술대회 논문집, 2016 Nov. 17, 2016년, pp.3 - 32
Lee, Jyh-Wei (Department of Materials Engineering, Ming Chi University of Technology)
High power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) technique has been developed for more than 15 years. It is characterized by its ultra-high peak current and peak power density to obtain unique thin film properties, such as high hardness, good adhesion and tribological performance. However, its low d...
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