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고속 전기도금용 불용성 전극의 내구성 향상에 관한 연구
Enhancement of Durability of Dimensionally Stable Anode for High-rate Electroplating Applications 원문보기

한국표면공학회 2017년도 춘계학술대회 논문집, 2017 May 25, 2017년, pp.114.1 - 114.1  

박성철 (한국생산기술연구원 표면처리그룹) ,  손성호 (한국생산기술연구원 표면처리그룹) ,  이진연 (한국생산기술연구원 표면처리그룹) ,  전상현 (LS엠트론)

초록
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불용성 전극이 고속 전기도금 공정에 사용되기 위해서는 전기화학 반응이 우수하고, 높은 내구성을 가져야 한다. 불용성 전극의 내구성은 기지층 표면전처리, 금속산화물 조성, 코팅층 두께, 소결 온도 등 다양한 전극제조 공정인자들에 의해 영향을 받는다. 본 연구에서는 불용성 전극의 내구성을 향상시키기 위해 전극 전처리 및 백금족 산화물 조성비의 공정변수로 전극을 제조하였고, 가속수명평가법을 사용하여 전극의 내구성을 평가하였다. 고속 전기도금 공정환경에서는 이리듐(Ir)계 및 탄탈륨(Ta)계 산화물 조성을 가지는 불용성전극의 내구수명이 우수한 경향을 나타내었으며, 귀금속 산화물 코팅층 두께가 얇을수록 불용성전극의 내구수명은 크게 저하되었다. 또한, Ir-Ta 조성 불용성전극의 경우 내구성 향상 기지체 표면전처리를 통해 전극의 내구수명이 10배 이상 향상되었음을 확인하였다.

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