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Polymer 기판에 저온 증착된 ITO의 투과 특성에 대한 흡광도의 영향
Influence of light absorbance on the optical characteristics in amorphous ITO on polymer substrates 원문보기

한국표면공학회 2012년도 춘계학술발표회 논문집, 2012 May 31, 2012년, pp.199 - 199  

박연현 (한국기계연구원 부설 재료연구소 표면기술연구본부) ,  윤정흠 (한국기계연구원 부설 재료연구소 표면기술연구본부) ,  이성훈 (한국기계연구원 부설 재료연구소 표면기술연구본부) ,  이건환 (한국기계연구원 부설 재료연구소 표면기술연구본부)

초록
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Display에 사용되는 투명전극의 경우, 가시광 영역에서의 투과도는 중요한 요소 중의 하나이다. 투명 전도막의 광흡수, 반사 및 투과즉성은 박막 내에 존재하는 전공밴드의 전자, 자유전자, polar optical phonon 등의 빛과의 반응에 의해 결정된다고 알려져 있다. 많은 연구결과를 통해 투과 및 반사특성은 알려져 있으나, 가시광 영역내의 흡광특성에 관해서는 밝혀진 연구결과가 많지 않다. 본 연구에서는 ITO 박막의 투과도와 흡광도의 상호관계를 규명하였다.

AI 본문요약
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문제 정의

  • 지금까지 개발된 재료 중에는 ITO가 가장 투명하면서 전기가 잘 통하고 생산성도 좋기 때문에 이것을 투명전극의 재료로 사용한다. 본 연구에서는 ITO의 투과특성에 대한 흡광도의 영향에 관하여 고찰하였다.
  • ITO의 광 투과 특성을 분석해본 결과, uv 영역(380nm 이하)에서의 심각한 광 손실은 interband 효과에 의한 현상이며 visible 영역(380nm 이상)에서의 광 손실은 두께에 따라 지속적으로 변형되는 높은 반사도와 더불어 ITO 박막 내에서 발생되는 광 흡수에 의한 것으로 확인되었다. 본 연구에서는 이러한 광 흡수 mechanism을 고찰하였다.
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