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Roll to Roll 장비를 적용한 대면적 ITO 박막 증착
ITO Thin film deposition in large area by Roll to Roll process 원문보기

한국표면공학회 2012년도 춘계학술발표회 논문집, 2012 May 31, 2012년, pp.182 - 183  

임경아 (한국기계연구원 부설 재료연구소) ,  김종국 (한국기계연구원 부설 재료연구소) ,  강용진 (한국기계연구원 부설 재료연구소) ,  이승훈 (한국기계연구원 부설 재료연구소) ,  김도근 (한국기계연구원 부설 재료연구소)

초록
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Organic light emitting diode (OLED) 나 organic photovoltaic device (OPV)와 같은 유기소자에 전극으로 쓰이고 있는 indium tin oxide (ITO) 박막의 품질을 향상시키기 위해 수소 및 산소의 가스량을 조절하면서 rf power를 이용하여 ITO 박막을 증착한 후 전기적, 광학적 특성을 관찰하여 보았다. 또한 ITO 박막의 대면적화 및 양산화를 위하여 Roll to Roll 장비를 적용하였다. 산소 분율 0.3%에서 두께 180 nm 와 면저항 21 ohm/sq.를 나타냈으며 수소 분율 0.8%에서 두께 180 nm, 면저항 22 ohm/sq.이 관찰되었다. 또한 산소 분율 0.3%로 고정한 후 수소 분율을 변화시키며 관찰한 결과 수소분율 0.3%에서 두께 180 nm, 면저항 19 ohm/sq.를 나타내었다.

AI 본문요약
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문제 정의

  • 본 연구에서 ITO 박막의 품질을 향상시키기 위하여 roll to roll 장비를 적용하여 수소 및 산소의 가스 분율에 대한 의존도를 관찰하였다. 산소의 가스분율만을 변화 시켰을 때 산소의 분율이 증가할수록 두께는 감소하는 현상을 보이고 산소 분율 0.
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