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CH4/C2H2 분압변수에 따른 DLC 코팅의 기계적 성질에 관한 연구
The study on the mechanical property of DLC coatings with the ratio of CH4/C2H2 using ion beam deposition 원문보기

한국표면공학회 2012년도 춘계학술발표회 논문집, 2012 May 31, 2012년, pp.187 - 188  

김성민 (고등기술연구원 로봇생산기술센터 플라즈마팀) ,  신중욱 (고등기술연구원 로봇생산기술센터 플라즈마팀) ,  오승천 (고등기술연구원 로봇생산기술센터 플라즈마팀) ,  김상식 (고등기술연구원 로봇생산기술센터 플라즈마팀)

초록
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본 연구에서는 자동차 연료분사 장치의 내마모성 및 내구성 개선을 목적으로 이온빔 증착법을 이용하여 DLC 코팅을 증착하고 특성을 평가하였다. 특히 $CH_4/C_2H_2$ 분압비에 따라 DLC 박막의 표면조도, 밀착력, 경도등에 미치는 영향을 조사하였으며 DLC 박막의 구조 변화를 관찰하였다. 제조된 박막의 표면조도는 AFM (Atomic Force Microscopy)을 이용하였으며 박막의 밀착력은 스크래치 시험기를 이용하였고 미소 경도는 나노 인덴테이션을 이용하였으며 구조분석은 Raman spectroscopy를 이용하였다. 표면조도 결과 $C_2H_2$ 주입량을 증가함에 따라 표면조도와 경도값은 급격하게 증가하였고 $C_2H_2$만 주입했을 경우 Ra값이 90 nm, 미소 경도값은 2291 Hv로 최대값을 나타내었다.

AI 본문요약
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문제 정의

  • 본 연구에서는 이온 빔 증착 방법을 이용하여 DLC 코팅을 합성하였고 CH4와 C2H2 분압비에 따라 증착된 DLC 코팅의 기계적 특성 및 구조를 살펴보았다. 측정 결과, C2H2 분압비가 증가함에 따라 표면조도 및 미소 경도값은 증가하는 것을 확인하였으며, 밀착력은 급격하게 낮아지는 것을 확인할 수 있었다.
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