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DC/RF 중첩형 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 증착한 ITO 초박막의 SnO2 함량에 따른 물성 변화
Charateristic of ultrathin ITO films deposited with various SnO2 content by RF superimposed DC magnetron sputtering 원문보기

한국표면공학회 2012년도 춘계학술발표회 논문집, 2012 May 31, 2012년, pp.209 - 209  

강세원 (부산대학교 재료공학과) ,  이현준 (부산대학교 재료공학과) ,  송풍근 (부산대학교 재료공학과)

초록
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고 해상도를 요구하는 차세대 디스플레이에서 ITO 박막은 매우 얇은 두께에서 높은 투과율과 고 전도성을 동시에 가져야 한다. 이러한 박막 물성을 함께 가지는 고품질 ITO 초박막을 제조하기 위해서 DC와 RF의 장점을 동시에 가지는 DC/RF 중첩형 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 다양한 $SnO_2$ 함량을 가진 ITO 초박막(~50 nm)을 증착하여 물성 및 미세 구조 변화를 관찰 하였다. 또한, 상온과 결정화 온도 이상에서 증착한 ITO 초박막의 $SnO_2$ 함량에 따른 박막의 전기적, 광학적 거동 및 미세구조의 변화를 확인하는 동시에, RF/(DC+RF) 중첩 비율에 따른 ITO 초박막의 물성 변화를 확인 하였다.

AI 본문요약
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제안 방법

  • 함량에서 고품질의 ITO 초박막을 제조하고, 증착된 박막의 전기적, 광학적 특성 및 미세구조를 관찰하였다. 그리고 전체파워 70 W 중에 RF/(RF+DC) 비율을 증가시키며 증착한 ITO 초박막의 물성 변화를 확인하는 동시에, 상온 및 결정화 온도 이상에서 다양한 SnO2 함량을 가진 ITO 초박막을 증착하여 전기적, 광학적 거동 및 XRD를 통한 박막의 미세구조 변화를 비교 분석하였다. 그리고 박막의 광학적 특성의 경우, 증착된 모든 ITO 초박막에서 가시광 투과율은 빛의 두께 산란 없는 높은 투과율(>85 %)을 보이는 것을 확인 할 수 있었다.
  • 본 연구에서는 DC/RF 중첩형 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 박막 증착 중에 발생하는 고에너지 입자의 기판타격으로 인한 박막손상을 최소화하여 다양한 SnO2 함량에서 고품질의 ITO 초박막을 제조하고, 증착된 박막의 전기적, 광학적 특성 및 미세구조를 관찰하였다. 그리고 전체파워 70 W 중에 RF/(RF+DC) 비율을 증가시키며 증착한 ITO 초박막의 물성 변화를 확인하는 동시에, 상온 및 결정화 온도 이상에서 다양한 SnO2 함량을 가진 ITO 초박막을 증착하여 전기적, 광학적 거동 및 XRD를 통한 박막의 미세구조 변화를 비교 분석하였다.
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