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제안 방법
- 주상구조를 갖는 알루미늄 코팅층은 grain과 grain 사이에 공극을 형성하기 때문에 부식물의 차단이 어려워 부식방지를 위한 보호막으로 이용하기 힘들다. 본 연구에서는 스퍼터링 공정과 빗각 증착을 활용하여 알루미늄 박막의 치밀도를 높이고 공극을 발생을 억제하여, 알루미늄 코팅층이 코팅된 강판의 내부식 특성을 향상할 수 있는 코팅 공정을 도출하였다.
- 알루미늄 코팅 시 순방향 자기장을 비평형 스퍼터링 소스에 인가하면 알루미늄 박막의 밀도가 낮아지며, 주상정의 굵기와 길이가 증가하는 현상을 관찰하였다. 비평형 스퍼터링 소스에 역방향 자기장을 인가하면, 알루미늄 박막의 공극이 작아지고 밀도가 높아지는 현상을 관찰할 수 있었다.
대상 데이터
- 알루미늄을 코팅하기 위해서 4, 6 inch의 직경을 갖는 비평형(unbalanced magnetron; UBM)과 평형(balanced magnetron; BM) 스퍼터 소스를 이용하였으며 기판은 실리콘 웨이퍼와 냉연강판을 사용하였다. 알루미늄 타겟의 순도는 5 N이며, 기판은 진공용기에 장착하기 전 계면활성제로 탈지를 실시하고 진공용기에 장착하여 진공배기 후 아르곤 가스 분위기에서 800 V의 직류전원을 사용하여 glow discharge로 표면 청정을 실시하였다.
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