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Hybrid PVD로 제작된 Cr-Nb-N 코팅막의 공정조건에 따른 상형성 및 물성 분석
Phase Formation and Mechanical Properties Analysis of Cr-Nb-N Coatings Prepared by Hybrid PVD 원문보기

한국표면공학회 2012년도 춘계학술발표회 논문집, 2012 May 31, 2012년, pp.189 - 189  

양영환 (한국세라믹기술원 이천분원 엔지니어링 세라믹 센터) ,  여인웅 (현대기아자동차 중앙연구소 기반기술연구팀) ,  박상진 (현대하이스코 연구개발팀) ,  임대순 (고려대학교 신소재공학과) ,  오윤석 (한국세라믹기술원 이천분원 엔지니어링 세라믹 센터)

초록
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금속 양이온이 도핑된 3성분계 이상의 나노구조코팅은 다양한 성능 개발 및 물성 향상을 위해서 개발되어져 왔다. 기존 CrN 코팅에 비해 Cr-Nb-N 코팅은 높은 경도와 내부식성을 나타내는 것으로 알려져 있다. 공정 제어를 통해서 - Cr-Nb-N 코팅을 제작하였으며, 상분석 및 물성 변화에 대하여 고찰하였다.

AI 본문요약
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제안 방법

  • 코팅 거리와 도핑원소의 출력 제어등 공정변수의 제어를 통해 다양한 코팅막 구조를 형성하였다. XRD를 이용하여 상형성에 대하여 고찰하였으며 그에 따른 기계적 물성 평가를 시행하였다.
  • 코팅 거리 및 회전속도 등을 제어하여 기존 CrN 과 다른 상형성을 가지는 Cr-Nb-N 코팅을 제조 하였다. CrN 대비 약 10% 향상된 경도를 나타내었으며, 마모테스트를 통한 비마모량 측정 결과 CrN 대비 약 13% 감소된 비마모량을 나타내었다.
  • 본 연구에서는 자체제작된 Arc Ion Plating(AIP)와 Unbalanced Magnetron Sputter(UBM)이 결합된 Hybrid PVD를 이용하여 금속 양이온(Nb)이 첨가된 Cr-Nb-N 코팅막을 제조하였다. 코팅 거리와 도핑원소의 출력 제어등 공정변수의 제어를 통해 다양한 코팅막 구조를 형성하였다. XRD를 이용하여 상형성에 대하여 고찰하였으며 그에 따른 기계적 물성 평가를 시행하였다.

대상 데이터

  • 본 연구에서는 자체제작된 Arc Ion Plating(AIP)와 Unbalanced Magnetron Sputter(UBM)이 결합된 Hybrid PVD를 이용하여 금속 양이온(Nb)이 첨가된 Cr-Nb-N 코팅막을 제조하였다. 코팅 거리와 도핑원소의 출력 제어등 공정변수의 제어를 통해 다양한 코팅막 구조를 형성하였다.
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