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문제 정의
- 다양한 활용분야가 요구됨에 따라 플라즈마를 기반으로 하는 다양한 증착 방법이 개발되어 왔으며, 최근 Roll-to-Roll 기술을 바탕으로 한 연속 생산 공정 개발이 요구됨에 따라 이에 적용 가능한 SiO2 박막 증착법 개발이 활발히 진행되고 있다1-3. 본 연구에서는 선형 플라즈마 소스를 활용한 300 mm급 PET 기판에 SiO2 박막의 Roll-to-Roll 증착 공정을 개발하였으며, 주입 반응성 물질의 혼합비에 따른 박막 특성을 분석하였다.
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