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알루미늄 박막의 제조와 산업적 응용에 대한 고찰
The study on the preparation methods and industrial applications of aluminum thin films 원문보기

한국표면공학회 2015년도 춘계학술대회 논문집, 2015 May 07, 2015년, pp.111 - 111  

정재인 (포항산업과학연구원 시스템솔루션연구센터) ,  양지훈 (포항산업과학연구원 시스템솔루션연구센터)

초록
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알루미늄 박막은 광학부품의 코팅과 Mirror 제조는 물론 철강이나 항공기 부품의 내식성 코팅이나 반도체 및 디스플레이 소자의 전극 등에 이용되어 산업적 응용이 가장 넓은 박막의 하나이다. 알루미늄 박막은 주로 진공증착 방법으로 제조하는데 제조 공정에 따라 그 특성이 현저히 달라지는 특성이 있다. 본 논문에서는 알루미늄 박막의 제조 공정에 대해 고찰하고 공정에 따른 특성과 응용분야에 대해 고찰하고자 하였다.

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문제 정의

  • 본 논문에서는 알루미늄 박막의 제조 공정과 그 응용에 대해 고찰하였다. 반사율의 경우 고진공 증착과 함께 증착율을 증가시킴에 의해 반사율이 향상되며 이는 박막의 순도와 표면조도에 영향을 받는 것으로 판단된다.
  • 알루미늄 박막은 광학 코팅의 경우 주로 열증발원을 이용한 증발을 이용하며 반도체나 디스플레이 산업에서는 스퍼터링 방법을 이용한다. 본 논문에서는 알루미늄 박막의 제조 방법과 산업적 응용에 대해 고찰하고자 하였다.
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