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Reactive DC Sputtering으로 증착한 Smart window용 TiO2의 전기변색적 특성
Electrochromic properties of TiO2 deposited by Reactive DC magnetron Sputtering for smart window application 원문보기

한국표면공학회 2015년도 추계학술대회 논문집, 2015 Nov. 26, 2015년, pp.299 - 300  

김성한 (부산대학교 재료공학과) ,  송풍근 (부산대학교 재료공학과)

초록
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$TiO_2$는 내구성이 뛰어난 전기변색재료로 연구가 이루어 지고 있다. 큰 굴절율로 인해 높은 투과율을 보이는 $TiO_2$는 변색시 치밀한 구조를 가지기 때문에 전해질 양이온의 침입이 힘들어 변색효율이 $WO_3$에 비해 좋지 않다. 이를 개선하고자 작업압력을 변화시켜 기판에 입사하는 입자의 에너지를 줄임으로써 확산을 줄이고 Porous한 막을 얻고자 하였다. 작업압력이 높아짐에 따라 표면의 거칠기가 커지는 것을 확인하였고 전기변색시 효율이 커지는 것을 확인하였다.

AI 본문요약
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문제 정의

  • 이러한 WO3 및 TiO2 박막은 스퍼터링 또는 sol-gel법 등으로 제작되고 있는데, 일반적으로 스퍼터링의 경우 치밀한 박막이 형성되기 때문에 Porous 한 박막을 얻기 힘들다. 따라서 본 연구에서는 Sputtering조건 Working Pressure를 조절하여 기판에 입사하는 스퍼터 입자들의 에너지를 조절하고 이에 따라 Shadowing 효과를 더 크게 만들어 TiO2의 전기변색 특성을 향상시키고자 하였다.
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