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나노 임프린트 전극 구조체와 산화아연 나노와이어를 이용한 압전 소자 연구
Study of Piezoelectric Nanogenerator by using Nanoimprinted Electrode and Zinc Oxide Nanowires 원문보기

한국표면공학회 2015년도 추계학술대회 논문집, 2015 Nov. 26, 2015년, pp.301 - 302  

엄현진 (한국생산기술연구원 뿌리기술연구소 표면처리그룹) ,  정준호 (한국기계연구원 나노공정그룹) ,  박인규 (한국과학기술원 기계공학과)

초록
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고 기계적 특성을 가지는 나노 임프린트 전극 구조체를 전극으로 이용하여 산화아연 나노와이어를 습식 도금하여 성장시키고, 열전 소자 특성을 분석하였다. 나노선 어레이 형상을 가진 몰드와 열 임프린트 방식을 이용하여 폴리머 기판 표면위에 나노선 어레이 형상을 임프린트 하고, 열 증착 방식으로 금속 박막을 올려 폴리머 기판-금속 간 높은 접합력을 가지는 금속 전극을 형성하였다. 나노 임프린트 전극 구조체를 음극으로 하여 산화아연 나노와이어를 전극 위에 도금하고, 열증착 방식으로 상부 전극을 형성하여 최종적으로 압전 소자를 제조하여, 습식으로만 형성된 산화아연 나노와이어 다발의 압전 특성을 확인하였다.

AI 본문요약
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문제 정의

  • 최근에 산화아연 나노 소재의 압전 특성이 연구되고 있는데, 보통의 산화아연 나노 소재들은 높은 결정성을 가져야 높은 압전 특성을 가지므로, 건식 또는 습식 공정으로 합성된 산화아연 나노소재들은 높은 온도에서 열처리 공정을 진행해야 하며, 때문에 유연 기판에 직접 결정질의 산화아연 나노소재를 합성하기에는 한계가 있다. 따라서 본 연구에서는 높은 접착력 특성을 가지는 나노 임프린트 전극 구조체를 음극으로 이용하여 결정질의 산화아연 나노와이어를 습식 공정을 이용하여 성장시키고 열처리 없이 압전 소자를 형성하는 방법을 개발하였다.
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