선택한 단어 수는 입니다.
최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
선택한 단어 수는 30입니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
제안 방법
- 95%를 갖는 티타늄 타겟을 사용하였다. 공정 가스는 Ar을 주입하였으며, 질소와 탄소의 공급원으로는 질소(N2)와 메탄(CH4) 가스를 사용하여 챔버 내 주입혼합가스의 전체 유량을 50 sccm으로 고정시켰다. 증착된 박막의 기계적, 전기적 특성을 측정하였고, X-ray diffraction(XRD), Scanning electron microscope(SEM)을 이용하여 박막의 미세구조 및 표면 상태를 확인하였다.
- 현재 가장 많이 사용되고 있는 금속 분리판 소재 중 스테인리스 스틸은 기계적 ‧ 전기적 특성 및 내부식성이 우수한 반면, 가격이 비싸고, 중량이 무거운 단점이 있다. 따라서 스테인리스에 비해 중량이 1/3, 소재단가가 1/4인 알루미늄을 모재로 하였고, 기계적 성질과 내부식성의 향상을 위해 TiN, TiCN 박막 코팅을 도입하였다.
- 증착된 박막의 기계적, 전기적 특성을 측정하였고, X-ray diffraction(XRD), Scanning electron microscope(SEM)을 이용하여 박막의 미세구조 및 표면 상태를 확인하였다. 또한, 내부식 특성을 평가하기 위해 potentiostatic, potentiodynamic 법을 이용하여 박막의 부식저항을 측정하였다.
- 본 연구에서는 DC 반응성 마그네트론 스퍼터링법으로 전기적, 기계적 특성 및 내부식성이 우수한 TiN, TiCN 알루미늄 기판 위에 증착하여 박막 물성을 평가하였다. DC Power는 400 W, 기판과 타겟 사이의 거리는 120 mm, 공정 압력은 0.
- 공정 가스는 Ar을 주입하였으며, 질소와 탄소의 공급원으로는 질소(N2)와 메탄(CH4) 가스를 사용하여 챔버 내 주입혼합가스의 전체 유량을 50 sccm으로 고정시켰다. 증착된 박막의 기계적, 전기적 특성을 측정하였고, X-ray diffraction(XRD), Scanning electron microscope(SEM)을 이용하여 박막의 미세구조 및 표면 상태를 확인하였다. 또한, 내부식 특성을 평가하기 위해 potentiostatic, potentiodynamic 법을 이용하여 박막의 부식저항을 측정하였다.
대상 데이터
- 본 연구에서는 DC 반응성 마그네트론 스퍼터링법으로 전기적, 기계적 특성 및 내부식성이 우수한 TiN, TiCN 알루미늄 기판 위에 증착하여 박막 물성을 평가하였다. DC Power는 400 W, 기판과 타겟 사이의 거리는 120 mm, 공정 압력은 0.5 Pa로 고정하였고, 3 inch의 지름과 순도 99.95%를 갖는 티타늄 타겟을 사용하였다. 공정 가스는 Ar을 주입하였으며, 질소와 탄소의 공급원으로는 질소(N2)와 메탄(CH4) 가스를 사용하여 챔버 내 주입혼합가스의 전체 유량을 50 sccm으로 고정시켰다.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.