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문제 정의
- 최근에 평면 디스플레이, 태양전지, 투명 전극 개발을 위한 산화물 형광체 박막에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다 [1]. 본 연구에서는 XRD, SEM, PL 측정 장비를 사용하여, 급속 열처리 온도가 형광체 박막의 결정 구조, 표면 형상, 광학적 특성에 미치는 영향을 조사하였다. 이를 수행하기 위하여, 고상반응법을 이용하여 Eu 이온이 도핑된 BaWO4 형광체 분말을 합성하였고, 그 이후에 압축과 소결 작업을 실시하여 직경 1인치의 세라믹 타겟을 제조한 후, 라디오파 마그네트론 스퍼터링 방법을 사용하여 진공 챔버에서 증착 온도 400℃에서 형광체 박막을 증착하였다.
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