[논문]CoSiB/Pt/CoSiB 구조의 Hall Effect 연구

CoSiB/Pt/CoSiB 구조의 Hall Effect 연구 원문보기

김성용 (세종대학교 신소재공학과) , 이하나 (세종대학교 신소재공학과) , 김영광 (세종대학교 신소재공학과) , 김태완 (세종대학교 신소재공학과)

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을 선택하여 연구를 진행하였다. 기존 실험인 [CoSiB/Pt]_N 다층박막과는 다른 구조인 샌드위치 형식의 [CoSiB/Pt/CoSiB] 구조로 제작하여 특성을 알아보았다. 시료는 DC스퍼터링 장비를 사용하였고 기본진공도 5×10^-8 Torr, 공정진공도 3×10^-3 Torr 유지하면서 CoSiB/Pt(t_Pt)/CoSiB 제작하였다.

본 연구에서는 열적 안정성이 확보된 비정질 합금인 Co₇₅Si₁₅B₁₀을 선택하여 연구를 진행하였다. 기존 실험인 [CoSiB/Pt]_N 다층박막과는 다른 구조인 샌드위치 형식의 [CoSiB/Pt/CoSiB] 구조로 제작하여 특성을 알아보았다.
시료는 DC스퍼터링 장비를 사용하였고 기본진공도 5×10-8 Torr, 공정진공도 3×10-3 Torr 유지하면서 CoSiB/Pt(tPt)/CoSiB 제작하였다.

이때, Pt 층의 두께(t_Pt=17~32 Å)를 다르게 하였다. 그리고 Van der pauw방식을 이용하고, 자기장 -1500 ~ 1500 Oe 가변하여 Hall측정 하였다.

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용어 설명 출처 목록 (6)

용어 설명: PCR은 세균 특이성이 있는 primer를 이용하여 적은 수의 세균이 있을지라도 쉽게 검출할 수 있는 유용한 방법이며, 이를 이용하여 구강 내 치면세균막이나 타액에서 직접 세균을 검출할 수 있게 되었다[8].

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