선택한 단어 수는 입니다.
최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
선택한 단어 수는 30입니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
제안 방법
- 1차 광리소그래피 공정과 ECR-ion milling 과정을 거쳐 폭과 길이가 각각 1 μm와 20 μm의 크기를 갖은 GMR-SV 소자를 제작하였다. 2차 광리소그래피 공정을 거쳐 Cu 전극을 패터닝하여 바이오센서용 GMR-SV 전극소자를 만들었다. 개발된 GMR-SV 바이오소자의 중앙 소자 부분을 제외한 가장자리 모든 전극 부분에만 PR을 남긴 채 SiO2 절연층 박막을 rf 스퍼터링 방법으로 코팅하였다.
- 4차 리소공정에서 PR을 도포한 후 패터닝하여 마지막 단계인 μ-채널을 제작하였다.
- GMR-SV 소자와 적혈구가 놓인 곳을 광학현미경으로 확인 한 후, 탐침 봉을 두 전극 사이를 연결하여 자기 저항 특성을 조사하였다. 정확성을 위해 소자와 밀접한 거리에 가우스 미터(gauss meter) 프로브(probe)를 고정시켜 자성비드를 떨어뜨린 전과 후 측정한 minor MR loop를 Fig 3에서 보여 주었다.
- GMR-SV 전극통로와 μ-코일 전극통로가 서로 연결되지 않도록 절연층 SiO2 박막을 rf 스퍼터링 법으로 100 nm 두께로 증착하였다.
- 2차 광리소그래피 공정을 거쳐 Cu 전극을 패터닝하여 바이오센서용 GMR-SV 전극소자를 만들었다. 개발된 GMR-SV 바이오소자의 중앙 소자 부분을 제외한 가장자리 모든 전극 부분에만 PR을 남긴 채 SiO2 절연층 박막을 rf 스퍼터링 방법으로 코팅하였다. GMR-SV 전극통로와 μ-코일 전극통로가 서로 연결되지 않도록 절연층 SiO2 박막을 rf 스퍼터링 법으로 100 nm 두께로 증착하였다.
- 앞 단계에서 언급한 바와 같이 μ-코일 Cu 통로와 중앙부분에 놓이게 될 생리식염수의 전도성에 의한 누설 효과가 발생하지 않도록 다시 100 nm 두께의 절연층 SiO2 박막을 rf 스퍼터링법으로 증착하였다.
대상 데이터
- 1차 광리소그래피 공정과 ECR-ion milling 과정을 거쳐 폭과 길이가 각각 1 μm와 20 μm의 크기를 갖은 GMR-SV 소자를 제작하였다.
- 1에서 보여주듯이 코일-채널-소자가 모듈화하기 위한 복합구조는 미크론 크기의 생체분자인 적혈구가 통로로 따라 흐를 때 이를 제어하기 위한 형태로 구성되었다. 우선 기판인 Corning glass(#7059) 위에 GMR-SV 박막을 증착하였다. 1차 광리소그래피 공정과 ECR-ion milling 과정을 거쳐 폭과 길이가 각각 1 μm와 20 μm의 크기를 갖은 GMR-SV 소자를 제작하였다.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.