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문제 정의
- 공기 중에서의 실험 결과, 캔틸레버의 강성이 낮을 수록 탭핑의 정도가 높아질수록 고차 모드의 영향이 증가함을 알 수 있었다. 본 연구에서는 스캔하는 시료 주위 환경이 마이크로 캔틸레버의 진동 모드에 미치는 영향을 분석하기 위해 탄성 계수가 서로 다른 두 시료을 공기와 정제수중의 서로 다른 두 환경 속에서 지난 연구와 동일한 실험을 진행하였다. 그 후, 실험 데이터를 POD 기법과 통계처리를 통하여 마이크로캔틸레버의 선형화된 POM 분포를 비교하였다.
가설 설정
- 마이크로캔틸레버 기저부에서 P/TL-NCH 와 NCL 은 1 차 공진주파수, P/TL-OMCL 은 1 차/ 2 차 공진주파수로 가진하였으며 공진 응답에서 5 점의 개별 진동 특성을 정상 상태라고 가정하였다.
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