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[국내논문] 유정압 베어링 이용 초정밀 가공기의 나노미터 영역 제어에 관한 연구
High Precision Control of Hydrostatic Bearing Machine Tool 원문보기

한국정밀공학회 2010년도 추계학술대회 논문집, 2010 Nov. 11, 2010년, pp.313 - 314  

심종엽 (한국기계연구원 초정밀기계시스템 연구실) ,  송창규 (한국기계연구원 초정밀기계시스템 연구실) ,  박천홍 (한국기계연구원 초정밀기계시스템 연구실)

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문제 정의

  • 전기/기계적인 시스템 요소의 제어 노이즈 분석에서 노이즈 저감설계를 수행하였고 제어시스템의 주파수 분석을 통한 유압 시스템의 최적화 및 문제가 되는 기계요소 추출/분석 및 보완설계를 수행하였다. 나노미터 급으로 제어하기 위하여 각 초정밀 가공기 시스템 요소 설계가 제어의 관점에서 어떻게 설계 되어야 하는지 방향을 제시하였다.
  • 본 논문에서는 4축 초정밀 가공기의 이송계를 대상으로 제어기의 설계 및 제어 성능향상에 대한 연구를 수행하고자 한다.
  • 유정압 베어링을 사용한 4축 초정밀 가공기의 초정밀 제어에 관한 연구를 수행하였다. 전기/기계적인 시스템 요소의 제어 노이즈 분석에서 노이즈 저감설계를 수행하였고 제어시스템의 주파수 분석을 통한 유압 시스템의 최적화 및 문제가 되는 기계요소 추출/분석 및 보완설계를 수행하였다.
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