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비점수차를 이용한 3차원 표면형상의 측정
Measurement of 3D surface profile using astigmatism 원문보기

한국정밀공학회 2010년도 춘계학술대회 논문집, 2010 May 26, 2010년, pp.781 - 782  

강주식 (한국표준과학연구원 길이시간센터) ,  김재완 (한국표준과학연구원 길이시간센터) ,  김종안 (한국표준과학연구원 길이시간센터) ,  엄태봉 (한국표준과학연구원 길이시간센터) ,  진종한 (한국표준과학연구원 길이시간센터) ,  이종웅 (청주대학교 레이저광정보공학과)

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문제 정의

  • 최근 공간위상천이장치가 개발되면서 위상천이된 4장의 간섭무늬 이미지를 동시에 획득할 수 있는 기술이 개발되어 진동에 둔감한 측정이 가능하게 되었는데, 이 또한 위상 언랩핑 (unwrapping) 등의 연산시간이 소요되며 연속적이고 부드러운 표면형상 측정에 국한된다는 제한점이 있다. 본 발표논문에서는 단 한 장의 이미지 획득을 통해 파장의 20배가 넘은 단차까지도 위상 모호성 없이 고속측정할 수 있는 기술을 소개하고자 한다.
  • 여기서 A, B, C, D는 각각 4분할 광검출기의 1, 2, 3, 4사분면에 입사한 빛의 세기를 나타낸다. 이 FES 신호는 자동초점장치에 널리 사용되는 것인데, 역으로 FES를 통해 물체의 높이 정보를 얻고자 하는 것이 본 논문의 핵심이다.
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