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제안 방법
- 2-EHA:EA의 조성을 50:50 비율로 하고, AA의 조성은 2-EHA와 EA 단량체 전체량에 대해 20 phr로 고정하였다. 이들 단량체 120 g과 AIBN 0.
- 점착제로 코팅된 PET 필름을 가로 × 세로 (5cm × 5cm) 크기로 자른 뒤 웨이퍼 표면에 대해 전체 필름의 젖음이 완결되는 시간으로 젖음성을 측정하였다. Probe tack은 Texture Analyzer (Toptac 2000, Yeonjin, Korea)를 이용하여 5 mm의 stainless steel cylindrical probe를 이용하여 측정하였다. Peel strength는 점착필름을 glass 기재에 부착한 후, 2 kg의 고무롤러를 두 번 통과시키고 상온에서 1시간 방치한 후 측정하였다.
- 본 연구에서는 아크릴계 공중합체에 대해 실리콘 그룹을 함유한 가교제를 사용하였다. 이러한 아크릴공중합체를 바탕으로 점착제를 제조하고 이를 초박형웨이퍼용 백그라인딩용 테이프에 적용하면서 실리콘의 낮은 표면에너지로 인한 젖음성 변화와 가교밀도에 따른 점착 물성의 변화를 살펴보았다.
- 가교제 함량변화에 따른 아크릴공중합체 점착제의 접촉각 변화를 Figure 1에 나타내었다. 아크릴공중합체와 실록산그룹을 함유한 에폭시 가교제가 포함된 수지를 코팅한 필름위에 같은 부피의 액적을 떨어뜨리고 액체방울이 고체표면상에 형성하는 각도를 측정하였다. 접촉각은 고체 표면의 젖음성을 나타내는 척도로 이용되며, 낮은 접촉각은 고체표면과의 높은 친화성을 나타내는 반면 높은 접촉각은 낮은 친화성을 나타낸다.
- 본 연구에서는 아크릴계 공중합체에 대해 실리콘 그룹을 함유한 가교제를 사용하였다. 이러한 아크릴공중합체를 바탕으로 점착제를 제조하고 이를 초박형웨이퍼용 백그라인딩용 테이프에 적용하면서 실리콘의 낮은 표면에너지로 인한 젖음성 변화와 가교밀도에 따른 점착 물성의 변화를 살펴보았다.
- 5 g을 추가로 넣고, 3시간 30분 동안 반응을 지속시켰다. 이렇게 제조된 공중합체의 관능성 단량체에 대한 가교제인 실록산계 에폭시 가교제를 다양한 비율로 블렌드하여 점착제를 제조하였다.
- 점착제로 코팅된 PET 필름을 가로 × 세로 (5cm × 5cm) 크기로 자른 뒤 웨이퍼 표면에 대해 전체 필름의 젖음이 완결되는 시간으로 젖음성을 측정하였다.
- 접촉각은 Phoenix 300(SEO)을 사용하여 증류수 25℃, 상대습도 50%로 항온항습 조건에서 측정하였다. 증류수 약 10 ㎕를 웨이퍼와 점착제 표면에 떨어뜨린 후 안정화 시킨 후 접촉각을 측정하였다.
- 접촉각은 Phoenix 300(SEO)을 사용하여 증류수 25℃, 상대습도 50%로 항온항습 조건에서 측정하였다. 증류수 약 10 ㎕를 웨이퍼와 점착제 표면에 떨어뜨린 후 안정화 시킨 후 접촉각을 측정하였다. PET 필름 (두께 30 ㎛) 위에 어플리케이터를 이용하여 점착제를 두께 20 ㎛로 균일하게 코팅하여 젖음성 시편을 제조하였다.
- PET 필름 (두께 30 ㎛) 위에 어플리케이터를 이용하여 점착제를 두께 20 ㎛로 균일하게 코팅하여 젖음성 시편을 제조하였다. 코팅된 PET 필름을 가로x세로 (5cmx5cm) 크기로 자른 뒤 웨이퍼 표면에 최대한 압력을 가하지 않은 상태에서 놓았을 때 필름 전체면적에 젖음이 완결되는 시간을 측정하였다.
대상 데이터
- 증류수 약 10 ㎕를 웨이퍼와 점착제 표면에 떨어뜨린 후 안정화 시킨 후 접촉각을 측정하였다. PET 필름 (두께 30 ㎛) 위에 어플리케이터를 이용하여 점착제를 두께 20 ㎛로 균일하게 코팅하여 젖음성 시편을 제조하였다. 코팅된 PET 필름을 가로x세로 (5cmx5cm) 크기로 자른 뒤 웨이퍼 표면에 최대한 압력을 가하지 않은 상태에서 놓았을 때 필름 전체면적에 젖음이 완결되는 시간을 측정하였다.
- 아크릴공중합체 합성을 위해 사용된 단량체는 2-ethylhexyl acrylate (2-EHA, Samchun Pure Chemical, Korea), ethyl acrylate (EA, Samchun Pure Chemical, Korea), acrylic acid (AA, LG Chemical, Korea)이고, 용제로는 ethyl acetate (EAc, Samchun Pure Chemical, Korea)가 사용되었고, 개시제로는 2,2'-azobisisobutyronitrile (AIBN, Junsei Chemical, Japan)이 사용되었으며, 실록산계 에폭시 가교제는 (diglycidoxypropyl siloxane, Dow Corning, USA)가 사용되었다.
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