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NTIS 바로가기한국정밀공학회 2011년도 춘계학술대회 논문집, 2011 June 01, 2011년, pp.269 - 270
전준호 (한국기계연구원 나노공정장비연구실) , 전은채 (한국기계연구원 나노공정장비연구실) , 제태진 (한국기계연구원 나노공정장비연구실) , 김경국 (한국산업기술대학교 나노광공학과)
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